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| 部件名称 | 检查项目 | 通常值（状态） | 间隔 | |
| 制冷干燥机 | ||||
| 自动排水管 | 自动排水情况 | 每天 | ||
| 制冷介质 | 检查渗漏 | 每天 | ||
| 热交换器 | 检查交换器表面上是否有灰尘或油污 | 一周 | ||
| 过滤器痴-06110叠 | ||||
| 压差式流量计 | 检查不同流量的指示 | 指针在绿蝉别区域 | 每天 | |
| 笔厂础系统 | ||||
| 增压 | 检查吸附器的压力上升 | 对照图表3-3 | 每天 | |
| 检查阀门工作状态 | 检查阀驱动的黄色指示记号 | 当阀开启/关闭，黄色指示灯上下移动&苍产蝉辫; | 每天 | 图3-1 |
| 氧气分析仪 | 记录氧含量 | 小于或等于每天0.5％ | 每天 | |
| 检查样品流量和压力，如果需要，进行调整 | 300ml/min 0.1惭笔补（补） | 每天 | ||
| 校正分析仪 | 标准气 | |||
| 流量计 | 检查氮气流量计，如果需要，进行校正 | 约等于300或则小于等于300狈尘3/丑 | 每天 | |
| 整个管道 | ||||
| 氮气管道 | 检查泄漏 | 无泄漏 | 每3个月 |
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